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杭州士蘭微股份有限公司集成電路芯片光刻間等車間凈化工程由中國電子工程設計院設計。

車間采用恒溫恒濕空調機組共有8臺，風機，水泵變頻，監視室內微壓差，室內溫濕度嚴格控制（溫度正負1℃,濕度正負2.5%Rh）。空調自控系統采用Honeywell EXCEL5000 EBI系統1套，系統于2002年7月上旬投入使用，系統運行良好。